H(3)TRB & HTGB / HTGS Testsysteme
High Performance & High Volume Tests
SET bietet die passende Produktlinie für Ihre Kundenbedürfnisse – schlüsselfertige Komplettlösung aus Klimakammer/Ofen mit Innenausstattung und Prüflingsanpassung sowie dem Testsystem.
High Performance Testsystem
Die High Performance Testsysteme bieten zusätzliche Funktionen über den reinen High Temperature Reverse Bias (HTRB) hinaus. Dies bringt Ihnen wichtige Vorteile.
Höhere Auslastung des Testgeräts
Jeder Prüflingskanal kann separat abgeschaltet werden und wird aktiv auf etwa 130% des Maximalstroms des konfigurierten Messbereichs begrenzt. Hierdurch ist eine Beeinflussung der Nachbarkanäle ausgeschlossen und der fehlerhafte Prüfling kann später analysiert werden. Durch die Möglichkeit, den Testablauf für insitu Charakterisierung von Prüflingsparametern (Rth, Vgs(th), Vds, Vf, Vbreakdown, etc.) vollautomatisch zu unterbrechen, entfallen Zwischenmessungen. Nach Beendigung der Charakterisierung fährt das System völlig eigenständig mit dem Stresstest fort. Im Alltag erlaubt das eine deutlich höhere Auslastung des Geräts.
Bei diskreten Halbleiterbauteilen mit höherer Verlustleistung während des Tests kann das System mit einer separat geregelten Temperierung für jeden Prüfkanal ergänzt werden. Das System führt eine hochgenaue Temperaturregelung jedes einzelnen Kanals auf die Chiptemperatur Tj durch. Das verhindert nicht nur das Übertesten von Prüflingen sondern erlaubt Prüflinge mit deutlich höherer Verlustleistung testen zu können
- Hervorragende Skalierbarkeit von Testfunktionen
- Einzel Prüfkanal-Abschaltung bei Ausfall
- Vollautomatische, Integrierte ReadOut/Charakterisierungen (Rth, Vgs(th), Vds, Vf, Vbreakdown, etc)
- Die Anzahl der Kanäle können in 20er Schritten erhöht werden
- Nachrüstbarkeit/Erweiterung einzelner Funktionen (z.B. Gate Ansteuerung) durch einfachen Austausch modularer Karten
- Verfügbare Spannungsklassen: 1500V, 2000V, 3500V, 4200V
- Verfügbare Ströme bis zu 200mA/Prüfkanal
- Umschaltbare Strombereiche: Prüflinge mit Standard- und Breitbandabstand
- Strombegrenzung auf ~130% des Strombereichs, permanente Abschaltung nach 20ms.
- DUT-Einzeltemperierung:
- Regelung der Temperatur auf Tj, nicht auf Tcase oder Tambient,
- Ausregelungsgenauigkeit vTj bis zu +/-0.25°C
- Erhältlich als Schublade oder externer Trolley
Wir bieten Ihnen schnell und unkompliziert vorkonfigurierte Testsysteme, die Ihnen wertvolle Zeit und Kosten in der Entwicklungsphase von Leistungshalbleitern erspart. Wählen Sie die passende Konfiguration für Ihren Zuverlässigkeitstest aus.
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| High Performance Testsystem 1 | High Performance Testsystem 2 | High Performance Testsystem 3 | |
| Volt | 3500V, two independent tests with 30 DUTs each | HTRB/H3TRB | 2000V, 40 DUTs, HTRB, Readout functionality | 2000V, 80 DUTs, HTRB, extendable in groups of 40 up to 240 DUTs |
| DUTs | Full DUT disconnect, Vstress measurement
| Single DUT disable, Vstress measurement
| Single DUT disable
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| Switchable source current measurement |
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| Climate chamber | External Oven or Trolley with Single-DUT tempering | Drawer with single DUT tempering on Tj | – |
High Volume Testsystem
Diese Produktlinie für einen Semiconductor Reliability Test skaliert hervorragend in der Anzahl der Prüflinge bis zu 960 Kanäle pro Rack. Das System beherrscht getrennte Prüfabläufe der Kanäle in Gruppen von 80 Prüflingen und darüber hinaus getrennte Umgebungsparameter (Feuchte/Temperatur) für die Prüflinge in Gruppen von 240. Jeder Kanal verfügt dabei über zwei Strommessungen auf Gate und Source. Durch die modulare Bauweise kann eine Aufrüstung des Systems auch nach der Auslieferung vor Ort beim Kunden erfolgen
- Hervorragende Skalierbarkeit der Prüfkanäle
- Prüfung hoher Volumina von DUTs auf kleinem Raum
- Gate Stimuli, kompatibel mit Wide-Bandgap Halbleiter, wie Siliziumcarbid (SiC) und Galliumnitrid (GaN)
- Source und Gate Strommessung pro Prüfkanal
- Bis zu 960 DUTs in einem 19″-Rack
- Gelieferte Racks können vor Ort um Prüflingskanälen erweitert werden
- Unabhängige Testabläufe für Prüfkanäle in 80er Losen
- Unabhängige Umgebungsbedingungen für Prüfkanäle in 240er Losen
- Automatische Ansteuerung aller gängigen externen Öfen/Klimakammern
- HTGB (High Temperature Gate Bias) / HTGS (High Temperature Gate Stress) mit Strommessung an Quelle und Gate
- Bis zu 2000V, 4mA/DUT, Gate +/- 35V
Das High Volume Testsystem ist bereits 
vorkonfiguriert und erspart somit wertvolle Zeit und Kosten in der Entwicklungsphase von Leistungshalbleitern
- 240 DUTs Options for extending to 480, 720 and 960 on side
- MassInterface connector to external oven
- Independent testing per 240DUTs (H3TRB/HTRB/HTGB/HTGS)
- Up to 2000V, 1mA per DUT
- Source current measurement: ~1uA accuracy, 0.1Hz per DUT
- Gate drive: up to +/-25V, 0.1mA, in groups of 40 SW definable
- Gate current measurement: ~0.5uA accuracy, 0.1Hz per DUT
- Characteristics changeable with card swapping
Technische Daten
| High Performance Testsystem | High Volume Testsystem | |
| Devices under test (DUTs) per system (fully monitored) | > 20 | 240 – 960 (for a cabinet) |
| HTRB test voltage | 300V, 600V, 1000V, 1500V, 2000V, 3500V, 4200V | 60V, 150V, 300V, 600V, 1000V, 1500V, 2000V |
| Source current measurement ranges | 500µA, 1mA, 10mA, 20mA, 100mA, 200mA | 500µA, 1mA, 4mA |
| Gate voltage | -40V to +40V, SW configurable | -35V to +35V, SW configurable |
| Gate current range | 10µA, 10mA | 4µA, 2mA |
| Features | HTGS capability, Current Range Switching, DUT current clamping, DUT disconnect on failure | HTGS capability |
| Insitu measurements | Rth, Vgs(th), Vds, Vf, Vbreakdown | – |
| Single DUT temperature control | Tj control +/-0.5°C | – |
ANFRAGE
Sie haben Fragen zum H(3)TRB & HTGB Testsystem oder möchten ein Angebot für eine bestimmte Produkt-Konfiguration?
Unser Support-Team steht Ihnen jederzeit für Fragen zur Verfügung und erstellt Ihnen gern ein maßgeschneidertes Angebot nach Ihren Anforderungen.
Sie möchten Ihre Prüflinge vorerst bei uns im Haus testen lassen? Mit unserem Inhouse-Service „Testing as a Service“ bieten wir ihnen einfaches und schnelles Testen direkt beim Experten vor Ort an.
